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产品详情
裸晶测试仪APT 6000

裸晶测试仪 

型号:APT 6000  

品牌:FitTech


标准配备

1.机构部分:

● X、Y、Z、θ轴(精度详见规格)

● Chuck table(非导电盘&导电盘,共2块)

● XYZ 调整座  2  座

● Edge Sensor 2 座

● 彩色CCD 1组,1倍镜头,供扫描定位用、供探针定位、外观检视用

● 掀开式遮光罩

● 电控箱

● 分光卡:350nm-1050nm

选配部分:

● 清针模块 (毛刷  & 贴片 & 吹气)

è 毛刷及贴片为耗材,依客户的使用状况决定更换次数

● ESD 模块:HBM/MM ± 4 KV

è Relay 寿命保证:6个月或2亿次(以先到为主)

 

2.测试机部份

电源供应器:SF

Tester基本架构图如下:APT6000

图片2.png 

3.IPC 部 分

中央处理器:双核心 CPU G3420 3.2 GHz

存储器:4G

硬盘:500G

17”LCD或以上荧幕、光学鼠标、键盘

作业系统 : Win 7

 

通用规范.

项目

描述说明

规格

工作面积

2~7.8英寸

198mm

卡盘

平面化

±0.01 mm

 

X 轴

最大行程

200 mm

分辨率

0.5 μm

精度

< 10 μm over 100 mm

 

Y 轴

最大行程

300 mm

分辨率

0.5 μm

精度

< 10 μm over 100 mm

 

Z 轴

最大行程

8 mm

分辨率

1.2 μm

精度

< 5 μm over 30 mm

 

θ axis

轴旋转范围

± 30°

分辨率

0.0018°

精度

< 10 μm over 160 mm

 

 

机器视觉

摄像机

CCD

照明

遥控

焦距

手动调整

校准

自动校准

CCD 分辨率

1280*960 像素

透镜放大倍数

1x

屏显

6.4mm × 4.8 mm


脚注信息
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